1、鈦管靶
鍍膜用鈦管靶是一種空心圓柱形的高純度鈦材料，專為磁控濺射（尤其是旋轉(zhuǎn)濺射工藝）設(shè)計，通過離子轟擊鈦管表面濺射出鈦原子或離子，在基材表面形成功能性薄膜（如導(dǎo)電層、阻擋層或裝飾層）。其結(jié)構(gòu)特點可實現(xiàn) 360°濺射，顯著提高靶材利用率（可達(dá)70%以上），適用于大面積連續(xù)鍍膜場景。
2、性能特點
高純度：純度≥99.95%（3N5級及以上），雜質(zhì)（Fe、O、C等）嚴(yán)格控制在ppm級，確保薄膜性能穩(wěn)定。
高密度：≥4.5 g/cm3，減少濺射顆粒飛濺，降低膜層缺陷。
熱傳導(dǎo)性：鈦的低熱膨脹系數(shù)（8.6×10??/K）和良好導(dǎo)熱性（21.9 W/m·K），適合長時間高溫濺射。
結(jié)構(gòu)優(yōu)勢：空心管狀設(shè)計配合旋轉(zhuǎn)濺射，膜厚均勻性（±3%以內(nèi)）優(yōu)于靜態(tài)板靶。
耐腐蝕性：鈦的鈍化膜（TiO?）使其在酸堿環(huán)境中長期穩(wěn)定。
3、材質(zhì)與制造工藝
材質(zhì)：
高純鈦（ASTM Grade 1或2），純度等級：3N5（99.95%）至5N（99.999%）。
特殊需求時內(nèi)壁復(fù)合背板材料（如銅、鋁）以增強散熱。
制造工藝：
原料提純：電子束熔煉（EBM）或真空電弧熔煉（VAR），去除揮發(fā)性雜質(zhì)。
塑性成型：熱擠壓→旋壓→冷軋，形成管狀坯體。
焊接密封：采用真空電子束焊接（EBW）封閉管端，避免濺射時氣體泄漏。
表面處理：內(nèi)外壁精密拋光（Ra≤0.6 μm）→超聲波清洗→真空封裝。
4、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
| 標(biāo)準(zhǔn)類型 | 具體標(biāo)準(zhǔn) |
| 國際標(biāo)準(zhǔn) | ASTM B338（鈦及鈦合金無縫管）、SEMI F47（半導(dǎo)體靶材通用規(guī)范） |
| 國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn) | GB/T 3625（鈦及鈦合金管材）、SJ/T 11609-2016（平板顯示用濺射靶材技術(shù)規(guī)范） |
| 行業(yè)定制 | 顯示面板廠商對管靶壁厚公差（如±0.1 mm）及同心度（≤0.05 mm）的特殊要求 |
5、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：銅互連阻擋層（Ti/TiN）、ALD/CVD前驅(qū)體薄膜。
平面顯示：TFT-LCD陣列的銅擴散阻擋層、OLED陽極附著層。
光學(xué)鍍膜：望遠(yuǎn)鏡鏡面反射層、手機攝像頭濾光片。
裝飾鍍膜：智能手表表殼的氮化鈦（TiN）仿金涂層。
新能源：燃料電池雙極板防腐蝕鍍層、光伏電池電極。
6、鈦管靶、鈦板靶、鈦靶塊的異同對比
| 特性 | 鈦管靶 | 鈦板靶 | 鈦靶塊 |
| 形狀 | 空心圓柱體（壁厚3-10 mm） | 平面矩形/圓形板狀 | 實心長方體/異形塊體 |
| 濺射方式 | 旋轉(zhuǎn)濺射（動態(tài)利用率高） | 靜態(tài)磁控濺射（邊緣易損耗） | 局部濺射（適用小面積鍍膜） |
| 均勻性 | 膜厚波動≤±3%（旋轉(zhuǎn)對稱性優(yōu)） | 邊緣膜厚偏差可達(dá)±8% | 需多次調(diào)整濺射參數(shù) |
| 加工難度 | 高（需精密焊接與同心度控制） | 中（大尺寸軋制技術(shù)） | 低（機加工靈活） |
| 成本 | 中高（材料利用率70%） | 高（利用率僅30-40%） | 低（小批量定制經(jīng)濟） |
| 適用場景 | 連續(xù)生產(chǎn)的大面積鍍膜（如G10.5代線） | 中小尺寸設(shè)備（如G6代線） | 實驗室研發(fā)或特殊形狀鍍膜 |
7、選購方法與注意事項
1）選購方法
純度與雜質(zhì)檢測：
要求 GDMS報告，重點核查Fe（≤50 ppm）、O（≤300 ppm）、C（≤100 ppm）含量。
驗證晶粒尺寸（SEM圖像分析，目標(biāo)≤50 μm）。
幾何精度驗證：
管靶壁厚公差（±0.1 mm）、同心度（≤0.05 mm）、直線度（≤0.1 mm/m）。
供應(yīng)商評估：
優(yōu)先選擇具備 EBM熔煉+電子束焊接 技術(shù)的廠商，確保管靶致密無氣孔。
查看歷史案例（如是否供應(yīng)京東方、三星等頭部面板廠商）。
性價比分析：
計算單位鍍膜面積的靶材成本（元/㎡），對比不同純度等級（4N vs. 5N）的性價比。
2）注意事項
儲存與運輸：
真空充氬包裝，避免管靶內(nèi)壁氧化（儲存濕度<30% RH）。
運輸時使用定制支架固定，防止管體變形或端面磕碰。
安裝與使用：
安裝前用無水乙醇擦拭內(nèi)壁，確保冷卻水路無雜質(zhì)堵塞。
初始濺射功率需階梯式遞增（如從5 W/cm2逐步升至15 W/cm2），避免熱應(yīng)力開裂。
維護(hù)與報廢：
定期檢查管靶壁厚（剩余厚度<1 mm時需更換）。
報廢鈦管靶可回收重熔，但需檢測二次熔煉后的雜質(zhì)累積情況。
鍍膜用鈦管靶憑借其高利用率、優(yōu)異膜厚均勻性和旋轉(zhuǎn)濺射適應(yīng)性，成為大面積連續(xù)鍍膜的核心材料。相較于鈦板靶和靶塊，鈦管靶在量產(chǎn)效率和成本控制上更具優(yōu)勢，但對加工精度（如焊接密封性、幾何公差）要求嚴(yán)苛。選購時需重點把控純度、微觀結(jié)構(gòu)及供應(yīng)商的工藝能力，使用中需優(yōu)化濺射參數(shù)與維護(hù)流程，以延長靶材壽命并保障鍍膜質(zhì)量。
